河海大學聯合團隊 用仿生技術助力半導體產業升級

　　近日，河海大學蘇州研究院仿生機器人技術團隊與企業緊密合作，研發“真空環境超潔凈晶圓傳送機械臂”，并在半導體制造領域實現重要應用，突破了我國半導體設備制造的“卡脖子”問題，為我國集成電路產業鏈自主創新能力提升提供核心支撐。
　　
　　“真空環境超潔凈晶圓傳送機械臂”被稱為半導體晶圓生產線的“神經中樞”，廣泛應用于光刻機、刻蝕機等關鍵設備，其性能直接決定芯片制造的精度與效率。該類設備長期被日美企業壟斷，且被列入禁運產品目錄，嚴重影響產業鏈安全。
　　
　　機械系統采用集成化驅動與磁流體密封技術，解決了真空環境下的潔凈度控制難題；基于國產操作系統構建的實時控制系統，實現納秒級響應精度；創新研發的誤差補償算法，將機械臂重復定位精度控制在±0.05mm，水平方向振動降至0.2g，各項指標均達到國際先進水平……目前，歷經多輪技術迭代，該成果已實現多項關鍵突破。
　　
　　目前，該機械臂已成功導入多家行業標桿企業，在薄膜沉積、刻蝕等關鍵制程中穩定運行，設備工藝適配性獲客戶高度認可，累計實現銷售收入約1300萬元。未來，團隊將聚焦5G通信、人工智能芯片等高端應用領域，提供定制化傳輸解決方案。