華中科技大學(xué)：研發(fā)國(guó)內(nèi)首套超精密主動(dòng)減振器

　　7月10日，華中科技大學(xué)與武漢格藍(lán)若智能技術(shù)股份有限公司簽署成果轉(zhuǎn)化合作協(xié)議，由后者出資8000萬(wàn)元，對(duì)華中科技大學(xué)陳學(xué)東院士團(tuán)隊(duì)超精密主動(dòng)減振技術(shù)進(jìn)行產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)化。

　　據(jù)悉，陳學(xué)東院士團(tuán)隊(duì)“二十年磨一劍”，創(chuàng)新性地研發(fā)了準(zhǔn)零剛度、頻變阻尼、協(xié)同控制等超精密主動(dòng)減振核心技術(shù)，突破了降頻率與保承載、減共振與抑高頻、減振動(dòng)與穩(wěn)位姿三大技術(shù)矛盾，解決了高性能主動(dòng)減振關(guān)鍵核心技術(shù)難題。

　　超精密主動(dòng)減振器是高端制造裝備、精密儀器設(shè)備的核心功能部件，是保證這些裝備高精度超穩(wěn)定運(yùn)行的關(guān)鍵。產(chǎn)品應(yīng)用于半導(dǎo)體高端制造設(shè)備、高精密機(jī)械加工車(chē)床等領(lǐng)域。該產(chǎn)品不僅可以高效隔離外部振動(dòng)，還通過(guò)實(shí)時(shí)采集振動(dòng)信息，基于先進(jìn)的控制策略生成多維振動(dòng)控制信號(hào)，精準(zhǔn)抑制各種內(nèi)外部擾動(dòng)導(dǎo)致的臺(tái)體振動(dòng)，實(shí)現(xiàn)被減振部件接近“絕對(duì)靜止”的狀態(tài)。

　　中國(guó)超精密主動(dòng)減振技術(shù)長(zhǎng)期落后于國(guó)外企業(yè)，格藍(lán)若和陳學(xué)東院士團(tuán)隊(duì)一舉突破了超精密主動(dòng)減振器關(guān)鍵技術(shù)壁壘，實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)自主可控。基于前期合作研發(fā)成果，格藍(lán)若推出超精密型、抗沖擊型、適用真空型等20余款超精密主動(dòng)減振器。