產品詳細介紹
特 點：
本系列平臺是在HGPT-B型光學隔振平臺的基礎上增加自動平衡功能, 采用空氣伺服系統(tǒng), 自動調整水平,臺面的高度由空氣調節(jié)閥在桌面運動的激勵下維持和控制，把系統(tǒng)對微振的響應反饋到系統(tǒng)中, 改變隔振特性,當負載沿工作表面移動或發(fā)生突然變化時能夠使臺面自動維持水平.瞬間達到初始的平衡狀態(tài),提高光學隔振平臺的隔振效果
主要參數(shù)：
·平面不大于0.05mm/m²
·表面粗糙度小于0.8um
·固有頻率垂直1.2Hz-1.8Hz，水平1.2Hz-1.8Hz
·振幅不大于1.2um
·重復定位精度±0.05mm
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